Breitband-Rastermikroskop für elektromagnetische Felder im Terahertzbereich
// Elektronik und Elektrotechnik // Sensorik und Messgeräte
Ref-Nr: 13520
Einleitung / Abstract
Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion. Es handelt sich um einen abbildenden Mikrowellen-Prober zur dreidimensionalen Untersuchung von integrierten mikroelektronischen Schaltungen.Hintergrund
Im Stand der Technik wird ein SQUID-Mikroskop für Raumtemperaturproben beschrieben, bei dem eine geschlossene Leiterbahn mit einem Josephson-Kontakt über eine Kante eines Substrats geführt wird. Damit kann der Abstand zwischen der Probe und der Mikroskopspitze mit dem SQUID reduziert werden.
Problemstellung
Das Breitband-Rastermikroskop bringt die Elektronik zur Signalanalyse bis auf wenige tausendstel Millimeter an den zu untersuchenden Chip heran und kann die Signale aus dem Chip berührungslos aufnehmen.Lösung
Die Antenne hat einen Josephson-Kontakt, die Signalverarbeitungseinrichtung ist angrenzend an die Antenne auf der Messspitze integriert und eine Übertragungsstrecke für das Messsignal verläuft mit einer so gewählten Frequenz, dass das Mess- und/oder Koppelsignal ohne wesentliche Störung durch die Messumgebung transportierbar ist.Vorteile
Ersatzschaltbilder komplexer integrierter Schaltungen ermitteln
Defekte in realisierten Schaltungen finden
Modellrechnungen für die dreidimensionale Abstrahlung von Signalen überprüfen
Anwendungsbereiche
Der Einsatzbereich der Erfindung liegt in der Messtechnik, insbesondere der Qualitätskontrolle von Computerchips nach der Produktion.Sie können dieses Fenster schließen. Ihre Suchergebnisse finden Sie in dem vorherigen Fenster