Innenbeschichtung rotationssymmetrischer Hohlkörper

// Fertigungstechnik // Material- und Werkstofftechnik // Oberflächentechnologien
Ref-Nr: 15096

Einleitung / Abstract

Es geht um das Beschichten von Substraten mit Materialschichten aus mehreren unterschiedlichen Materialien. Angewendet werden solche Verfahren z.B. für die Herstellung organischer Leuchtdioden (OLED). Dabei werden in einer vorgegebenen Reihenfolge mehrere Schichten gleichmäßig auf einem Substrat abgeschieden.

Hintergrund

Zum Aufdampfen temperaturempfindlicher Materialien für OLED-Vorrichtungen wird vorgeschlagen, dass ein Material in einem Verdampfungsgerät mit kontrollierter Geschwindigkeit dosiert von einem ersten Heizbereich in einen zweiten Heizbereich abgegeben wird, in dem das Material schließlich verdampft wird.

Lösung

Die Erfindung stellt ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats mit mehreren Materialschichten aus wenigstens zwei unterschiedlichen Materialien dar, womit eine effizientere und schnellere und damit im großindustriellen Maßstab durchführbare Beschichtung von Substraten ermöglicht wird, die als Hohlkörper ausgebildet sind z.B. für die Massenherstellung von OLED-Leuchtmitteln in klassischer Glühbirnen- bzw. der Leuchtstoffröhren-Form. In Abb. 1 ist eine Mehrmaterialienabgabeeinrichtung sowie ein von innen zu beschichtendes Substrat dargestellt.

Vorteile

effizientere, schnellere und damit kostengünstigere Beschichtungsvorgänge hohe Prozessgüte und Wiederholgenauigkeit der Beschichtungsvorgänge keine wesentliche Vermischungen der Materialien

Anwendungsbereiche

Beschichten von Substraten mit Materialschichten aus mehreren unterschiedlichen Materialien, z.B. für die Herstellung organischer Leuchtdioden (OLED)

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