Sensorbauteil und Einbauverfahren – Übertragung von dünnfilmtechnischen Strukturen

// Fertigungstechnik // Maschinenbau // Sensorik und Messgeräte
Ref-Nr: 16490

Einleitung / Abstract

Die Technologie betrifft ein Übertragungsverfahren von dünnfilmtechnisch erzeugten Mikrostrukturen auf Oberflächen die aufgrund ihrer Größe oder Eigenschaften nicht in PVD (Kathodenzerstäubung) Anlagen direkt beschichtet werden können.

Beschichtetes PVD Foliensubstrat (Beispielstruktur)

Hintergrund

Der Einsatz von PVD Anlagen zur Beschichtung von Bauteilen setzt eine Vakuumumgebung voraus. Die Vakuumanlagen limitieren den Einsatz von beliebig großen Bauteilen, des Weiteren ist eine chemische Reaktion von bestimmten Materialen während des Sputtervorgangs nicht auszuschließen. Daher werden in diesem neuartigen Verfahren das zu beschichtende Bauteil und der Vakuumprozess voneinander getrennt.

Lösung

Die Innovation dieses Verfahrens ist die Verwendung einer folienbasierten Beschichtungstechnologie mit wasserlöslichen Polyvinylfolien, die mithilfe von PVD Anlagen zu beschichten und zu funktionalisieren sind. Dies kann nach dem Stand der Technik im Rolle zu Rolle Verfahren erfolgen. Anschließend werden die beschichteten Foliensubstrate auf das gewünschte Bauteil aufgebracht, mithilfe von chemischen Adhesiven oder anhand einer Oberflächenfunktionalisierung. Anschließend wird das wasserlösliche Foliensubstrat entfernt, um die Leiterbahn oder Sensorschicht für die Kontaktierung frei zu legen. Bei diesem Verfahren muss das zu beschichtende Bauteil nicht in die Vakuumkammer der PVD Anlagen eingebracht werden und ist somit in Größe oder Form nicht limitiert. Eine chemische Reaktion des Bau-teils während des PVD Prozesses kann ebenfalls ausgeschlossen werden. Zusätzlich ist kein Temperatureinfluss auf das Bauteil vorhanden, was bei PVD Prozessen auftreten kann. Ein zusätzlicher Faktor ist die Zeitersparnis im Produktionsumfeld.

Vorteile

Beschichtung von Oberflächen großer Bauteile. Verwendung von flexiblen Trägersubstraten erlaubt Beschichtung von komplexen Oberflächengeometrien Keine Temperatureinflüsse auf das Zielbauteil, keine ungewollten chemischen Reaktionen während des PVD Prozesses Flexibles Beschichtungsverfahren

Anwendungsbereiche

PVD-Prozesse Herstellung von z. B. Sensorbeauteilen Mikrostrukturierung

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