Herstellungsverfahren für Brückenschaltungen
// Elektronik und Elektrotechnik // Material- und Werkstofftechnik // Mess- und Regeltechnik // Sensorik und Messgeräte
Ref-Nr: 16551
Einleitung / Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur definierten Einstellung von Sensorkenngrößen. Die Abscheidung der Sensorik erfolgt dabei bspw. mittels Kathodenzerstäubung oder chemischer Gasphasenabscheidung bspw. direkt auf der technischen Oberfläche von Bauteilen. Mit dem neuartigen Verfahren können die zu fertigenden Sensoren gezielt auf einen vordefinierten Kennwert eingestellt oder bspw. Brückenschaltung während der Fertigung direkt abgeglichen werden.
Abb. 1: Beispiel einer Sensorvollbrücke
Hintergrund
An Sensoren werden hohe Ansprüche in Bezug auf die Homogenität und Fertigungsgüte gestellt. Im Bereich der Temperatur- oder Dehnungsmesssensorik ist bspw. das Einhalten definierter Widerstandswerte von hohem Interesse. Dies gilt insbesondere bei der Verschaltung von Sensorik in Brückenschaltungen.
Lösung
Bisher wurden Sensoren kostspielig und aufwendig nach dem eigentlichen Fertigungsprozess auf den gewünschten Zielwert eingestellt. Die Erfindung sieht vor, einzelnen Sensoren oder Brückenschaltungen bereits während der Fertigung auf den gewünschten Endwert einzustellen. Dies wird durch eine permanente Überwachung der gewünschten Zielgröße in Kombination mit einer Trimmvorrichtung während des Fertigungsprozesses erreicht.Vorteile
Hochpräzise Fertigung einer kompletten Brückenschaltung mit laufender Qualitätskontrolle
Übertragbar auf weitere Fertigungsverfahren
Neuartige Möglichkeiten der Sensorproduktion z.B. von vollständig getrimmter und direktabgeschiedener Sensorik auf technischen Oberflächen
Nachrüstung bestehender Fertigungssysteme möglich
Anwendungsbereiche
Sensorproduktion, Herstellung von BrückenschaltungenSie können dieses Fenster schließen. Ihre Suchergebnisse finden Sie in dem vorherigen Fenster
