Herstellungsverfahren für Brückenschaltungen

// Elektronik und Elektrotechnik // Material- und Werkstofftechnik // Mess- und Regeltechnik // Sensorik und Messgeräte
Ref-Nr: 16551

Einleitung / Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur definierten Einstellung von Sensorkenngrößen. Die Abscheidung der Sensorik erfolgt dabei bspw. mittels Kathodenzerstäubung oder chemischer Gasphasenabscheidung bspw. direkt auf der technischen Oberfläche von Bauteilen. Mit dem neuartigen Verfahren können die zu fertigenden Sensoren gezielt auf einen vordefinierten Kennwert eingestellt oder bspw. Brückenschaltung während der Fertigung direkt abgeglichen werden.

Abb. 1: Beispiel einer Sensorvollbrücke

Hintergrund

An Sensoren werden hohe Ansprüche in Bezug auf die Homogenität und Fertigungsgüte gestellt. Im Bereich der Temperatur- oder Dehnungsmesssensorik ist bspw. das Einhalten definierter Widerstandswerte von hohem Interesse. Dies gilt insbesondere bei der Verschaltung von Sensorik in Brückenschaltungen.

Problemstellung

Bisher wurden Sensoren kostspielig und aufwendig nach dem eigentlichen Fertigungsprozess auf den gewünschten Zielwert eingestellt.

Lösung

Die Erfindung sieht vor, einzelnen Sensoren oder Brückenschaltungen bereits während der Fertigung auf den gewünschten Endwert einzustellen. Dies wird durch eine permanente Überwachung der gewünschten Zielgröße in Kombination mit einer Trimmvorrichtung während des Fertigungsprozesses erreicht.

Vorteile

Hochpräzise Fertigung einer kompletten Brückenschaltung mit laufender Qualitätskontrolle Übertragbar auf weitere Fertigungsverfahren Neuartige Möglichkeiten der Sensorproduktion z.B. von vollständig getrimmter und direktabgeschiedener Sensorik auf technischen Oberflächen Nachrüstung bestehender Fertigungssysteme möglich

Anwendungsbereiche

Sensorproduktion, Herstellung von Brückenschaltungen

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