Herstellungsverfahren für einen Feldisolationsleiter

// Informations- und Kommunikationstechnik // Optik, Photonik und Lasertechnik // Physikalische Technik
Ref-Nr: 17231

Einleitung / Abstract

Die Erfindung betrifft ein Messsystem, das präzise genug ist, um in einem Quantencomputer zum Einsatz zu kommen. Für die Leiterbahnen wurde ein elektrisch leitfähiges, aber nicht magnetisches Metall gewählt: Platin. Bei weiteren Verfahrensschritten kamen u.a. Physical Vapor Deposition PVD, Ionenstrahlätzen IBE und chemisch mechanisches Polieren CMP zum Einsatz.

Abb.:1: Feldisolationsleiter mit zwei verdrillten Leiterbahn-Paaren und planer Oberfläche.

Hintergrund

Solch ein Messsystem darf während des Messvorgangs keinen Einfluss auf die Quanten nehmen.

Die aufgrund der Anwesenheit elektrischer Ströme auftretenden elektromagnetischen Felder müssen daher abgeschirmt oder anderweitig an der Ausbreitung gehindert werden.

Lösung

Die Innovation besteht in einem mikrotechnologisch reproduzierbaren und Qualitätskontrollen zugänglichen Herstellungsverfahren, das durch die Verdrillung von Leiterbahnen eine gegenseitige feldbasierte Beeinträchtigung (magnetisch wie elektrisch) ausschließt. Als Substrat eignen sich Silizium, Glas oder Keramik, als Haftvermittlungswerkstoffe Chrom, Titan oder Tantal.

Vorteile

Verzicht auf magnetische Materialien: Einsatz in Quantensystemen und EMV-kritischen Bereichen Keine Verfälschung des Messergebnisses: Kompensation von externen EM-Feldern Minimierung von Störquellen: Selbstkompensation von eigenen Störeinflüssen Fertigung mit etablierten Prozessen der Mikrotechnologie: Integration in vorhandene Prozesse

Anwendungsbereiche

Quantencomputer

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