Aerostatischer Direktantrieb
// Maschinenbau
Ref-Nr: 14318
Einleitung / Abstract
Die Technologie betrifft einen aerostatischen Direktantrieb mit einer Positionierachse, die eine Positionierung von Mikrobauteilen mit Genauigkeiten im Nanometerbereich ermöglicht.
Abb. 1: Funktionsprinzip des 3-phasigen linearen aerostatischen Direktantriebs
Hintergrund
Bekannt sind Maschinen, beispielsweise Werkzeugmaschinen oder Aktuatoren, die eine aerostatische Positionierachse besitzen. Nachteilig an bekannten Maschinen ist, dass sie schlecht miniaturisierbar sind. Das liegt oft daran, dass bei kleinen Maschinen die Integration von Antrieb und Positionierachse Probleme bereitet.
Lösung
Der erfindungsgemäße aerostatische Direktantrieb umfasst eine Positionierachse, bei der der Schlitten eine den Druckfluidaustrittsöffnungen zugewandte Anströmstruktur aufweist, die so ausgebildet ist, dass durch selektives Beaufschlagen der Druckfluid-Austrittsöffnungen mit Druckfluid der Schlitten positionierbar und/oder fortlaufend bewegbar ist. Das Druckfluid wird gleichzeitig einerseits zum Lagern des Schlittens am Bett mit sehr geringem Reibkoeffizienten und andererseits ohne Stick-Slip-Effekt und zum Antreiben des Schlittens verwendet. Das führt dazu, dass die Positionierachse sehr klein ausgebildet werden kann.Vorteile
Positionierachse kann sehr klein ausgebildet werden
Sehr wenig separate Elemente notwendig, was eine hohe Integrationsdichte ermöglicht
Nur eine Energieversorgungsvorrichtung nötig
Hohe Präzision bei der Positionierung; Positionierung von Mikrobauteilen mit Genauigkeiten im Nanometerbereich
Sie können dieses Fenster schließen. Ihre Suchergebnisse finden Sie in dem vorherigen Fenster
